I enkelte applikasjoner innen vannbehandling anvendes Ozon for å oksydere rester av organisk materiale eller spesielle ioner. Ozon benyttes også til å desinfisere ledningsnett og distribusjonsanlegg.
I slike tilfelle vil det ofte finnes rest ozon som residual.
Rester av Ozon kan fjernes ved bruk av spesielle UV anlegg og 254 nanometer lamper. Ved å eksponere O3 til UV stråler katalyseres Ozonet til Oksygen. Destruksjon av Ozon kan være nødvendig for å beskytte produkt og utstyr nedstrøms i en produksjonsprosess. Et UV anlegg som benyttes til destruksjon av Ozon er utstyrt med spesielle pakninger og skal dimensjoneres etter ozonkonsentrasjon